源和小編今天為大家分享半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣處理的解決方案。

半導(dǎo)體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。 在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。

     目前，針對這種氣體排放，一 般采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。 吸附是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體 表面上，達到分離的目的。吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清 除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡單，操作方便，且能實現(xiàn)自動控制。

但固體吸附劑的吸附容量小，需要大量的吸附劑，設(shè)備龐大，且吸附后吸附劑需要再生處理，是吸附處理的主要缺點。半導(dǎo)體生產(chǎn)場所揮發(fā)出來的有機廢氣通過局部排風罩收集，經(jīng)管道送至吸附凈化系統(tǒng)。一般采用活性炭作為吸附劑。因為活性炭是非極性吸附劑，對廢氣中水蒸氣的靈敏度不高，且價格便宜。 焚燒的方法也廣泛用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種有機廢氣處理，通過熱氧化將有機物轉(zhuǎn)化為 CO2 和水。同時，焚燒對處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。在熱氧化中，有機廢氣流經(jīng)過加熱，氣相中的有機物被氧化。為節(jié)省燃料使用，通常還使用熱交換器，回收焚燒產(chǎn)生的熱量對進口氣體進行預(yù)熱。對于處理大流量、低濃度的氣體，通常都要采用這種方法。 由于半導(dǎo)體行業(yè)廢氣焚燒會產(chǎn)生SiO2，且SiO2會使催化劑鈍化，因此半導(dǎo)體行業(yè)中很少采用接觸氧化的方法。

一些半導(dǎo)體生產(chǎn)廠也使用旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)富集有機廢氣，如沸石濃縮轉(zhuǎn)輪。因為半導(dǎo)體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于 11039 m3 /小時）和濃度低（通常小于 25ppmv） 的特點，使用其它的處理技術(shù)難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪使用內(nèi)帶吸收物質(zhì)的旋轉(zhuǎn)輪，其中的吸收物質(zhì)部分曝露于廢氣流中。轉(zhuǎn)輪吸收廢氣中的揮發(fā)性污染物，并使用蒸汽或熱將其脫附。脫附的氣流中富集了較高濃度的揮發(fā)物，這種低流量、高濃度的氣流能很好地被氧化。旋轉(zhuǎn)濃縮系統(tǒng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的一個缺點是它對甲醇親和力較差，去除率僅為 40-60％。

     總而言之，廢氣處理方面，半導(dǎo)體行業(yè)酸、堿廢氣一般采用相應(yīng)的堿液吸收和酸液吸收進行處理， 工藝方法已非常成熟，只要適當優(yōu)化相關(guān)工藝參數(shù)，能夠滿足本標準的要求，需要關(guān)注的有 機廢氣的處理。目前處理有機廢氣的工藝有吸附法、吸收法、直接燃燒法、催化燃燒法、冷凝法等，吸附法采用活性炭直接吸附，凈化效果好，但是運營成本會很高；吸收法適合于溫度低、中高濃度的廢氣；直接燃燒法適合于高濃度、小風量廢氣治理；冷凝法適用于成分相 對單一、濃度高、且有一定回收價值的有機廢氣。對于半導(dǎo)體行業(yè)低濃度、大風量、成分復(fù)雜的有機廢氣，吸附法、吸收法、燃燒法、冷凝法均不適用，比較適用的是吸附——催化燃燒法。目前省內(nèi)一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪濃縮后燃燒，該方法適用于大風量、低濃度、常溫的有機廢氣處理，凈化效率達到90％以上，濃縮比達20﹕1，運行費用較低，設(shè)備處理風量大，占地面積小，不產(chǎn)生二次污染，可持續(xù)脫附并處理污染物。根據(jù)企業(yè)實際運 行情況，有機廢氣進氣濃度在200mg/m3以上時，處理效率達到95%；200mg/m3以下時處理 后濃度控制在20mg/m3，可保證廢氣達標排放。

通過小編以上的介紹，您是否對半導(dǎo)體行業(yè)VOCs處理有了更深入的認識了呢，希望能幫助到您。如您想了解更多的廢氣處理相關(guān)知識，歡迎您關(guān)注源和環(huán)保。

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